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二級超純水係統《分析實驗室用水規格和實驗方法》：
二級超純水係統指標名稱 一級水 二級水 三級水
1級水>10MΩ；2級水>1MΩ；3級水>0.2MΩ
PH值範圍（25℃） - - - - 5.0-7.5
比電阻MΩ.cm@25℃> 10 1 0.2
電導率（25℃）us/cm≤ 0.1 1 5
可氧化物[以O計]mg/L -- 0.08 0.40
吸光度（254nm,1cm光程）≤ 0.001 0.01 --
二氧化矽（mg/L） 0.02 0.05 --
蒸發殘渣（mg/L） -- 1.0 2.0
主要工藝流程
1.預處理----複床 ----混床---拋光樹脂
2.預處理----反滲透---混床---拋光樹脂
3.預處理----反滲透----CEDI膜塊----拋光樹脂
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